
应用:
HVAC,通风柜控制,实验室/洁净室加压,层流,泄漏检测,医疗设备,风机跟踪,手套箱和流速测量。
优点和功能:
Ashcroft® RXLdp的核心部件是专利的多晶硅可变电容传感器。专利Si-Glas™技术包含了高灵敏性的可变电容传感器,高重复性的MEMS以及超薄多晶硅芯片。
Ashcroft® Si-Glas™传感器提供微差压的精确测量和控制,灵敏性是硅压阻式压力传感器的100倍。
Si-Glas™传感器由溅射金属和玻璃通过分子级粘合于硅片上,没有任何环氧树脂或其他有机物附着,因而不会随着时间推移产生偏移或机械老化,同时耐高压,耐冲击和振动。